一、氮化硅陶瓷检测棒产品介绍:
检测棒氮化硅陶瓷是一种高性能结构陶瓷材料,由硅(Si)和氮(N)元素通过共价键结合形成。这种材料具有高硬度、高耐磨性、高耐温性和优异的化学稳定性,在极端工业环境中表现出卓越的性能。
二、技术参数与性能指标
1、密度:3.1-3.3 g/cm³。
2、抗弯强度:600-800 MPa。
3、维氏硬度:1500-1800 HV。
4、热膨胀系数:3.2×10⁻⁶/K。
5、导热率:15-30 W/m·K。
6、断裂韧性:6-8 MPa·m¹/²。
7、最高使用温度:空气中1000℃/保护气氛1400℃。
三、产品特点与优势
1、特殊环境耐受性:在1200℃高温下仍能保持1200MPa抗弯强度,较传统石英材料提升3倍。
2、洁净室级纯度:金属离子析出量<0.01ppb,可将12英寸晶圆污染率控制在百万分之一以下。
3、抗腐蚀性能:在98%浓硫酸介质(120℃/35MPa)中腐蚀速率<0.001mm/年,较316L不锈钢提升20倍。
4、自润滑特性:摩擦系数低至0.05-0.1,显著降低能耗和维护成本。
5、抗热震性:能承受800℃温差冲击,热震循环寿命超10⁵次。
四、应用领域
1、半导体制造:晶圆传输机械手、刻蚀设备喷淋头、热处理设备部件。
2、高温设备:轴承滚子、航空航天紧固件、发动机部件。
3、化工设备:高压柱塞泵、耐腐蚀管道、阀门。
4、精密机械:高精度测量棒、耐磨轴套、切割工具。