一、静电吸盘（ESC）
采用氧化铝等电介质材料，通过静电场实现无损伤吸附，适用于等离子体工艺，库伦型与JR型两类结构，后者吸附力更强但需反向电压解吸。
二、与传统吸盘的对比优势Advantages compared to traditional suction cups
特性 | 陶瓷吸盘 | 传统金属吸盘 |
吸附均匀性 | 微孔结构避免局部变形 | 易导致晶圆翘曲 |
防静电性能 | 绝缘材质消除静电干扰 | 需额外防静电处理 |
适用场景 | 超薄晶圆、高精度制程 | 常规搬运、低阶制 |
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